全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
发布时间：2025-08-21 09:53:19 作者：玩站小弟 
我要评论
我要评论来源：财联社财联社8月14日电，据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测
。
来源：财联社
财联社8月14日电，出炉据杭州日报，全国近日，首台商业作为基地首批签约孵化项目之一，国产光刻全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，电束其精度比肩国际主流设备，机杭标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。出炉在测试现场，全国浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，首台商业一台模样酷似大型钢柜的国产光刻机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。电束“这不是机杭普通的机器，而是出炉一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，全国依托省重点实验室，首台商业这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。
“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。
相关文章
存款取款单笔超5万元，还要不要说明“来源”和“用途”？央行、证监会等三部门发文，口径有变
近日，中国人民银行、国家金融监督管理总局、中国证监会联合发布《金融机构客户尽职调查和客户身份资料及交易记录保存管理办法征求意见稿）》以下简称《管理办法》），面向社会公开征求意见。该征求意见稿已于8月42025-08-21
北京时间8月11日消息，2025赛季中超联赛第20轮比赛结束全部争夺，本轮最受关注的上海德比战，海港凭借颜骏凌的高接低挡，保住了2-1的比分；青岛海牛则是5-1大胜云南玉昆，兰克尔-泽独造3球；梅州客2025-08-21
竞彩大势北京时间8月11日(周一)，今日竞彩一共开售7场赛事，下午有日职的赛事，晚上主要是芬超、瑞典超和葡超等的赛事。而比较引人关注的比赛为大阪樱花VS新泻天鹅、埃尔夫斯堡VS韦纳穆和波尔图VS吉马良2025-08-21
央广网北京8月17日消息 据中央广播电视总台中国之声《新闻和报纸摘要》报道，北纬26度30分至北纬12度的东海以及南海海域，为期三个半月的伏季休渔期16日结束，福建、广东、海南等地约6万多艘渔业船舶2025-08-21
今日下午，张雨绮工作室正式公布演员张雨绮的婚讯，文字中透露张雨绮与爱人已经结婚，并对外界的关心和祝福表示感谢：“贝拉公主张雨绮小姐已经找到了她的野兽王子，两个单身的人相识十天相恋，相识七2025-08-21
《明末：渊虚之羽》发售后，因优化等问题被许多人打差评。在接连推出数个更新后，其在Steam上的玩家口碑不断回升。目前该作在Steam上好评率已升至50%，单日好评率最近也稳定在70%左右。现在一起来欣2025-08-21
最新评论